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  净化工程在建设之初对温湿度的设计要优先考虑好,因为工艺对生产过程当中温湿度的要求已经越来越高,所以企业所建设的净化工程要对温湿度要有一个良好的掌控。
  在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。24um线性膨胀,所以要有±0。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染。湿度过高会产生的问题很多。相对湿度大于55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起事故。相对湿度在50%时易生锈。
  然而对于大部分净化工程,为了不让外界污染侵入,需要保持内压力(静压)高于外压力(静压)。实验台框架一般采用C型方型钢,经酸洗磷化、电泳后,实验台表面经环氧树脂高压静电粉沫喷涂,高温固化处理。具有良好的防腐性能,紧密强固,承重力强。实验室家具实验室仪器摆放的设计是一个实验室设计中的难点之一。实验仪器的摆放看似简单,可实际上需要考虑的因素很多。实验仪器是否可以良好平稳运行,是否可以妥善地得到保护,是否可以将环境对其的影响减小,相互之间是否有影响,实验人员是否可以方便地使用等等问题,都是在考虑实验室仪器摆放位置的时候需要关注的问题。